加压吸附真空解吸(简称VPSA)制氧设备,即穿透大气压的条件下,利用VPSA专用分子筛选择性吸附空气中的氮气、二氧化碳和水等杂质,在抽真空的条件下对分子筛进行解吸,从而循环制得纯度较高的氧气(90~95%)。VPSA能耗较低,设备越大其能耗越低。
变压吸附气体分离工艺过程之得以实现是由于吸附剂在这种物理吸附中所具有的两个基本性质:一是对不同组分的吸附能力不同,二是吸附质在吸附剂上的吸附容量随吸附质的分压上升而增加。利用吸附剂的一个性质,可实现对混合气体中某些组分的优先吸附而使其它组分得以提纯;利用吸附剂的第二个性质,可实现吸附剂在高压下吸附而在低压下解吸再生,从而构成吸附剂的吸附与再生循环,达到连续分离气体的目的。